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產(chǎn)品展示

SBC-16磁控離子濺射儀
產(chǎn)品描述:

SBC-16 是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào)

  • 更新時(shí)間

    2024-09-20
  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 瀏覽次數(shù)

    971
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詳細(xì)介紹


主要特性

1、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

2、操作容易快捷, 控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

3、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。

4、可使用多種金屬靶材:AuAu/Pd,Pt,Pt/PdAu 靶為標(biāo)配), 靶材更換快速方便。


技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)

靶材

Au 靶為標(biāo)配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm

標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)

可以裝載 12 個(gè) SEM 樣品座,高度可調(diào)范圍 60mm

旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)(選配)

旋轉(zhuǎn)速度: 0~60rpm 連續(xù)可調(diào),傾斜角度: -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào);

不銹鋼腔體:直徑 120mm X 75mm

觀察窗:直徑 120mm X 45mm

標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 40mm,可放 4 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái), 其它規(guī)格可訂

做; 具有雙重鎖緊裝置, 可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時(shí)不會(huì)松動(dòng)脫

落。

濺射電流

微處理器控制, 安全互鎖,可調(diào),電流 5~30mA,程序化數(shù)字控制

計(jì)量表

真空:  Atm - 1*10-3 mbar,電流: 0~99mA

控制方法

帶有 “開始"“暫停"按鈕的微處理控制器(1999s),自動(dòng)抽氣、濺

射、關(guān)機(jī)后自動(dòng)放氣。

真空系統(tǒng)

抽氣速率

133L/MIN

極限真空

10-4  mbar 級(jí)

噪音

56dB





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